半導體領域的“光刻機”和“刻蝕機”的用處和區別是什么

來源:360問答 發布時間:2019-05-20 19:57

如果把在硅晶體上的施工比成木匠活的話,光刻機的作用相當于木匠在木料上用墨斗劃線,刻蝕機的作用相當于木匠在木料上用鋸子、鑿子、斧子、刨子等施工。

光刻機用來成像,蝕刻機用來成形。他們是前后兩道工序。和做電路板有點類似。
光刻機精度高,刻蝕機精度低.


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